近期，全球半导体设备巨头 ASML 已着手开展下一代 Hyper NA EUV 光刻机的研发工作。该研发项目的核心目标是借助单次曝光技术达成 5nm 级制程精度，主要是为了满足 2035 年以后人工智能、高性能计算以及量子芯片等前沿科技领域对于先进制程芯片制造的迫切需求。
光刻机被誉为芯片制造领域的 “皇冠明珠”，其技术的不断更新迭代在很大程度上直接决定了整个半导体产业的发展格局，也成为了全球各国在科技领域竞争的焦点所在。从 ASML 构筑起的垄断壁垒，到中国企业的多点突破，这场围绕光刻机技术展开的博弈，早已超越了单纯的产业竞争范畴，更是大国之间科技实力的最高层次较量。
本文基于最新公布的财务数据，筛选出了 2025 年第一季度归母净利润增长速度最快的 6 家光刻机相关企业，与大家一同进行分析探讨。
展开剩余78%特别声明：以下内容仅用于学术交流，绝不构成任何投资建议、引导或承诺。
第六名：凯美特气
细分领域: 专业电子特种气体、混配气体
概念关联: 美特气的控股子公司凯美特电子特种气体公司所生产的光刻气产品（Kr/Ne、Ar/Ne/Xe）成功获得了 GIGAPHOTON 的合格供应商认证。
成长性: 2025 年第一季度归母净利润同比增长 142.00%。
公司亮点: 凯美特气是国内食品级二氧化碳行业的龙头企业，其产品通过了可口可乐和百事可乐的认证，成为它们的策略供应商。公司生产的高纯二氧化碳以及电子特气产品，因纯度高、质量稳定，在电子、医疗、冶金等多个领域都获得了客户的广泛认可。旗下岳阳凯美特电子特种气体公司采用先进的工艺处理氦、氖、氪、氙等惰性气体，其技术水平达到了国际标准。
第五名：张江高科
细分领域: 土地转让、房产销售 / 租赁、数据通信服务、创业投资
概念关联: 张江高科通过其旗下的上海张江浩成创业投资有限公司，向上海微电子投资了 22453 万元，持有上海微电子 10.779% 的股权。
成长性: 2025 年第一季度归母净利润同比增长 147.38%。
公司亮点: 张江高科的实际控制人为浦东新区国资委，是张江科学城的核心开发主体。公司定位为科技地产商、产业投资商和创新服务商 “新三商”，主要业务涵盖土地开发、房产销售租赁以及创业投资。通过全产业链的投资布局，张江高科构建了完善的产业生态圈，进一步强化了张江科学城的创新策源功能。
第四名：江丰电子
细分领域: 高纯溅射靶材
概念关联: ,江丰电子研发的钛合金多层扩散焊技术，被应用于 28nm 及以下制程光刻机的核心冷却部件，并且已经实现了量产。
成长性: 2025 年第一季度归母净利润同比增长 163.58%。
公司亮点: 江丰电子是国内半导体靶材行业的龙头企业，主营高纯溅射靶材，包括铝、钛、钽、钨钛等材质的产品，这些产品广泛应用于超大规模集成电路、平板显示以及太阳能领域。其超高纯金属靶材已经成功进入了国际头部芯片厂 7 纳米制程的供应链，并且实现了批量供应。
第三名：茂莱光学
细分领域: 精密光学器件、光学镜头和光学系统
概念关联: 茂莱光学在光刻前道缺陷检测技术项目上取得了显著进展，其光刻机紫外检测系统的样机已经完成了工艺验证，并且计划启动小批量样机的试产工作。
成长性: 2025 年第一季度归母净利润同比增长 288.73%。
公司亮点: 茂莱光学是国内高端光学企业，其产品覆盖了从深紫外到远红外的全光谱段，能够提供 “光机电算” 一体化的解决方案。公司的半导体检测光学模组已经供货给 Camtek、KLA 等国际知名的设备商，并且在芯片检测领域得到了应用。其核心产品包括显微物镜、机器视觉镜头等，技术应用范围涵盖了半导体检测、基因测序、航天监测以及 AR/VR 全链条测试等多个领域。
第二名：海立股份
细分领域:新能源汽车核心零部件、冷暖关联产品
概念关联: 海立股份为上海微电子的相关设备提供冷却系统配套，并且已经实现了供货。双方还以封装光刻机的冷却系统配套为起点，将零部件级的供应合作提升为系统级的供应合作。
成长性: 2025 年第一季度归母净利润同比增长 333.80%。
公司亮点: 海立股份是全球压缩机领域的头部企业，其生产的转子式压缩机涵盖了 9 大系列、1000 余种高效节能机型，能够适配各类冷媒与电压，是空调行业机种最为齐全的供应商。同时，海立股份还是国内第三大制冷压缩机电机配套商，旗下的海立新能源在新能源车用空调压缩机市场处于领先地位，其产品配套了宇通、北汽、吉利等主流车企。
第一名：同飞股份(lai宫偅呺 知留，丝 狐，或德更多最新姿讯
细分领域: 工业温控设备
概念关联: 同飞股份生产的液体恒温设备应用于半导体制造的关键设备温控，覆盖了光刻机、刻蚀机、PVD/CVD 以及研磨抛光机等多个领域。
成长性: 2025 年第一季度归母净利润同比增长 1104.89%。
公司亮点: 同飞股份是国内专业的工业温控解决方案服务商，主营液体恒温设备、电气箱恒温装置、纯水冷却单元以及特种换热器四大产品线。这些产品广泛应用于数控机床、半导体设备（如北方华创、上海微电子等）、储能（宁德时代）、新能源等九大领域，其客户群体涵盖了海天精工、德国埃马克、中车等行业龙头。
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